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: [1]   Word-108964.doc : 1

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-2002


1. 

1.1.   SiO2.

1.2.  " .

    1. .    .

2.   

2.1. SiO2 .

2.2.    .

    1. .

2.4.      Si-SiO2.

3.  .

3.1.  SiO2.

3.2 SiO2..

3.3. . ..

3.4.   .

.

  1.    .
  2.    .

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-  , , 1 2. , , , . ().

, , . , . 2 0.5 0.4-0.8 0.1 -0.4 , 10 1 -2 .

, . , " , . , , . 

SO2, [ 1], , . , , . : , . - .

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" .

- SO2 .

(V) C(t)-.


1.


    1. SO2.


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, , . , - , - . [ 2].

, . 1300 .

.1.1. , , - 200 . 0.5 .

, .1.2. [ 3]. , - . :

x2 = 21. 2 t (- 1 . 33/)= t10(1. 326-6100/T)         (1),

:         - , ,        t - , , - , .





        

    2

                                                                                       4


                                                                                               


. 1.1. : 1-;2 - ;

  1. - ; 4 - .


. 1.2. 1 .


. 1.3. .


, , . .

- , , . . , , - , . - , , . 3, 300 - [ 3].

, , , . -, , , , , .

, , , . 1 , - 1 . , , . , 100% , , 100% . - 290 , , . , - 200 / 150 .

1300 (3.6 10-4 2/) (99 10-4 2/ ). . 30 200 3/, - . (3.610-4 2/ 1400 ).

, , . 0.8 133 , . 1.6 290 [4].

. . " " [5].

. .

, , , ZnCl2. . , , ZnCl2 , .

  [6,7] 1 - 3%, , , 0,001 -  0,025% . 1% ZnCl2, . 10 /.


    1. " .


" , " . , . . , , ,   1.4620 1190 .   HF (4.9%) 100 / . , .

" .

SiO2 - "   . , - .

SiO2 , " SiO2.

n- , Sb As, - - . , . , . , , 0.5-0.7 .


      1. .

Si-SiO2 , , . , . , - .

. 1.4. ,   . :

N=Q/q,

Q(/2) - - Si-SiO2; N (-2) - Si-SiO2; q - .

-  , SI-SiO2 . ( ) , () . , . , . -, , (450 °) . Nit 1010 -2, 105 .

, , , . , , .

-, , .2.2.

i d . s, Rs, . sRs, . . 2.2 :

Cp=Cd+Cs/(1+wτ2),τ

:

Cp/w= Cswt/(1+w2τ2),

τ=sRs.

, . 2.2 :

Yig=Gin+jwCin,

:

Gin=w2CsτCi2/[Ci+Cd+Cs)2+w2t2(Ci+w2t2(Ci+Cd)2],

Cin=Ci{Cd+Cs[(Ci+Cd+Cs)2+w2τ2Cd(Ci+Cd)]/[( Ci+Cd+Cs)2+ w2τ2Cd(Ci+Cd)]}/

[(Ci+Cd+Cs)

, , - . . - (~1010 -2-1) . , -

it.

. 2.2 -V- - . (wt>>1) . :

=iCd/( i+Cd) (/2).

- -,

s .2.2 . - , . ' .

- :

Dit=Ci[(dBs/dV)-1-1]/q-Cd/q (/)

Qf ( ) ~3 Si-SiO2. . c 1010 1012 -2 , . Qf ' .

. 1.2.3. -V- .

. 1.2.4. -V- ,

' :

) -;

) n-.


, Qf () , ( ' ) SiO2 . - Qf , Si-SiO2.

.1.2.4 - , ' Qf . , -V - - Qf =0.

  Qf -V- ' , ' Qf - .

   Qf - V - . 1.2.5., " " - Qf .

, '      . - Qf = , . - Qf , .

- . , - V - ' ' Qf -V - . :

Δ Vf=Qf/Ci.

, , Q0t, -V- -. . , , , , . . 1.2.6 ,   -, , , . , , , :

ΔV0t=Q0t/Ci=1/ Ci[1/dxρ0t(x)dx],

. 1.2.5. " -.

. 1.2.6. - :

) ;

) ;

) ;

) .

  Q0t  -  , Si-SiO2ρ0t -  ' , .

  ΔVfb, :

ΔVfb=ΔVf+ΔVm+ΔV0t=Q0/Ci,

Q0= Qf+ Qm+ Q0t - Si-SiO2.

- 0:

φms=φm-(x+Eg/2q-ψb).

0, , - Q0, -V- - -V - :

Vfb=φms- Q0/i=φms-( Qf+ Qm+ Q0t)/Ci,

.

, SiO2 9 , qXi=0.9 . - | - .

' Si-SiO2 ( 0.1)

ms -, -V -.


1.3. .

, .

. -, . , , , , , ., . , , .

, . . , . :

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, (0.1%...6%) , - , - ..

" "" " , , , .

"" , ' , , , , , , . , , , ' .

. , , , , , . . .1.3.1. . :

42HCl3+9O2 22+6l2+8CO2

2H2O+2Cl24HCl+O2

,   .

, -, , , ,

. 1.3.1. :

1 -; 2-; 3 - ; 4 - .

(. 1.3.2).    (. 1.3.3.).

"" , "" . , .

SiO2 , . ' , SiO2.

. 1.3.2. , :


1 - 1373 , 1 .;

2 - 1373 , 2 .;

3 - 1473 , 15 .;

4 - 1473 ʻ 1 .

. 1.3.3, , , .


  .


' . , ; . , , - , .

, . , , : , , -, . .

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-, , . , , , - - , , . , - , .

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  1. - - -;
  2. ;
  3. .



2.


2.1.   SiO2 .


.2.

, , , , , , . "   . 200 /, , . , , () [10].

ZnCl2 . , , ,  . [11], [12]. , , 1,012. ZnCl2 5% .

,   . , , , . .

, . . :

2HCl+ZnO=ZnCl2+H2O

, , , . , .

, - . -  5 .



.2. -125/3

1-;             9- ;

2-;              10- ;

3-;                11- Si-;

4-;        12-

5-;        ;

6-;                                13- - ;

7-;                                        14- ;

8-;                                                    15- .


2.2.  .


Si-SiO2 , . .

- SiO2 . [10] , , SiO2.  , , , , , . :

  1. d2=4.16*103p1.6t exp(-1.7/kT) -     (16);
  2. d=1.4*103p0.8t exp(-1.7/kT) -      (17),

d - [];

t - [];

T - [];

k - .

50 150 .   . 950   1100 50. "Maple 6.

. 1


    1. .


, ,  . , , [10].

. , , . 

, [10]. . : . i .

:

) i " : . , i ( ) . . 1-2% . . , i, , 1% [15,16].

i 8-10 . , 30 , .

- i . 2,1-2,6 . , , i 2-3 . 4-6 . - , . 40-60 .

)   , , :  - 5 /; - 5 /; - 1 [13,14].

. - . 10-50 . , , . ( 0.1 ) , , , . .







2.3.1. .

:

) [15] . , - , . 1-10%. 0.5 20 . 0.7 2 . , - ; , " , , ( , ); - - - n- , .

) , (NO3:HF: CH3COOH) , i , .

, , .

, 5-7 . 100 (. 2.3.2.)


. 2.3.2 . ( .)


2.4. - Si-SiO2


- .  - (), - () , (U). [16].

. , , ,   Uc=at ( 0.05 - 0.2 /),  .   .2.4.1. [17]

. . Uc=+t. .

() , -, (1) (ss). :

Rpb>>1/wCd, Rhs>>1/wCd.

, - (Uc), .



                          

               

       

11






. 2.4.1. .

1 - ; 2 - .













. 2.4.2. :

1 - -; 2 - -; 3 - ; 4 - .


.2.4.2.   .

1 , , -, R1 (C1>>C). R1 (R1<<1/wCc) .[18]

, "Y i. Uc, , (R2>>1/wCc) - " i. .

- Uc<<kT/q Uc.  - .

  : - , ; - ( ); - , , i .

- . - , .   .   . [11]. Uc=at, , , dC/dU, i . (V)  .   - . [17]

-   -   . 5.3. (V) G(V) (1 - "1, 2 - "2) : (2) () (4). ()( 8) () (9) (10) (11) () (12) () (13) . "2 (2). "1 (11). (VG) (VC) "Y i (6) (7). " i .

(t) (1, 2 3 "2) (3). i. 0.3 i (14).

(V), G(V), i C(t) - (2 "1). , .


















.2.4.3. - C(V), G(V) (t)-:

1 - ;

9 - ;

  1. - ;
  2. 10 - ;

3 - ;

11 - ;

  1. - ;   
  2. 12 - ;

5 - -;

13 - ;

  1. - ;
  2. 14 - i;

7 -

15 - .

8 - ;

3. .


3.1. .


[23]. : . , , . , , [19,20].

. . .

SiO2 0.1 0.6 . NU-2E CuSO4 (250 : 5 : 5)  HF : HNO3 : CH3COOH (1 : 10 : 1) 3...7 . , HF .



. 3.2.1.  , (, x 200)


, .3.2.1., i , . , . , . " . 4...30 -1 SiO2 0,1 0,5...2 -2 . , , , , 300 -1   102...103 -2. ,   " .

SiO2, [24], -100 , " [24].

, : , . , , .

" , , , 1,5...3, 3,4...5,5 6,5...15 c-2 1, 0,5 0,15 . . , 80% 7...12 . , , . (.3.2.2) i .

.3.2.2.  (x200, )

, ,   . SiO2, , - [9].



. 3.2.3. 


SiO2 5 . , , , . , SiO2.


3.2.   SiO2.


. [19] [20] , , . [20] , 46 0,002 /c 340 0,01 /c. :


       (19)

               (20)


α - ;  E - ;  ΔT - ;  r - ;  R - .

. ,   ( ). , , , [21]. , SiO2 , i , . , , , [21].

[19]. . 3.1.1.  . . . 2.3.2. , .

. <110> , , [22], .


. 3.1.1.   SiO2


, SiO2 (.3.1.1).

. , , ... , . - , .

  :

  1. ;
  2. ;
  3. , .

, , .


3.3. . .


(. 1.3). . , , , .

, , - . , , . [25] , , .

, , , : 0; 0.1; 0.5; 1; 2; 3; 5% .

120÷140 (. 2.3).

,   SiO2 6.5 15 -2. [23].

0.3 1.5 -2, , . , ( 1%) . , 1 -2. , 13%. , . . ,   3% .

.  3.3.1.    .


, . , , - , Si. , , .

, .

. (.2.1)

3.3.2.

. 3.3.2. SiO2 : - 1200; - 5000.

.   . , 0.001%

, .


    1. .


, , Si-SiO2 SiO2. , , . , , , , . , , , SiO2 [19].

, , , - .

  - , 2.4

.

. 3

, %

0

0.0005

0.001

0.0025

, Dit, B/..

5.7×1011

5.7×1011

5.0×1011

5.2×1011

, τg, 10-6 c

45

40

86

55


, , , , . . , 3×10-3% , , , , - [10]. , , , , .

, , . . [17], Si-SiO2.

.3.4.1 1/τg = f(). , 0.002% , , . , , - .

, , , , .

, , , , , 1/τg - .

, - , .3.4.1. , , , .

, , SiO2 .

, SiO2, 6 , .


. 3.4,1. 1/: 1 - ; 2 - .

. 3.4.2. - .

  1. ;
  2. , , .
  3. ;
  4. .




5.


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5.1. - ().


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  1. .
  2. .
  3. .
  4. .
  5. .


5.1.1 .

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  4. , ;
  5. ;


1.

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1


2



3



4


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2



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35


15



10



20


5.1.2 .


( ) . , . . , . , , , . , .


2.

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0-1.

.

1

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2

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.



2-20

.

3

3-5

.



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4-5

.

5

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5-6

.

6

.

6-7

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7

7-8

.



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8

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8-9

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.

9-12

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10

10-11

.



10-12

.

11

.

11-14

.

12

Si .

12-13

.

13

.

13-14

.

14

. -

14-15

.


.



15

.

15-16

.

16

.

16-17

.

17

.

17-18

.



17-20

18

.

18-19

- .

19

.

19-20

.

20

.

20-21

.

21

.

21-22

.

22




5.1.3. .


( ).

, , , , . . .

t = (tmin + 4t +tmax ) / 6

σ2 t = [(tmax-tmin)/6]

0-1:

t = (4+4×5+7)/6=5

σ2 t = (7-4)/6=0.25

3.


5.1.4. .


3. .

σ2 t,

- .

tmin

t

tmax

t

0-1

4

5

7

5

0.25

2

1-2

4

5

6

5

0.11

1

2- 3 1

1

1

2

1

0.03

1

2- 4

2

3

4

3

0.11

2

2-8

1

1

2

1

0.03

2

2-20

5

7

8

7

0.25

1

3-5

3

4

5

4

0.11

2

3-6

6

7

7

7

0.03

2

4-5

1

2

2

2

0.03

1

5-6

1

1

2

1

0.03

1

6-7

1

1

2

1

0.03

2

7-8

1

1

2

1

0.03

1

7-10

1

1

2

1

0.03

1

8-9

1

2

4

1

0.25

2

9-12

1

1

2

1

0.03

2

9-14

1

1

3

1

0.11

1

10-11

1

1

2

1

0.03

2

10-12

1

2

2

2

0.03

2

11-14

1

1

2

1

0.03

1

12-13

1

1

2

1

0.03

2

13-14

1

1

3

1

0.11

1

14-15

2

3

5

3

0.25

1

15-16

1

1

2

1

0.03

1

16-17

1

1

2

1

0.03

1

17-18

1

1

3

1

0.11

1

17-20

2

4

4

4

0.11

1

18-19

1

1

2

1

0.03

1

19-20

1

1

2

1

0.03

2

20-21

2

3

3

3

0.03

2

21-22

4

6

7

6

0.25

1



5.1.5 .


:

t(L)

t(L) = tijk

= t[L(I-C)max ]

R(L)

R(L) = -t(L)

= t[L(I-)m ]

= - t[L(-) m ]

R

R = -

j

ij = t[L(1-) m ]

j =

j

j = Tpij+tij

j

j = j -tij

j

j = j

Rj

Rj = j - j

Rj = j - j

Rj

Rj=Rj -Rj

j

j =[t(Lmax)-t(L )] /[ - t( L )]

       t (Lm)- , ; t(L)- , .

: t(L)=t01 =5

T = 5+5+1+7+1+1+2+1+1+1+3+1+1+4+3+6=43

R = 43-5=38 T01 =5 Rc01 =0

Tp1 = 5 T01 =0 01=1

R1 =0 T01 =5 01=0 R01 =0

4.


4.












tij

j

j

Rj

Tij

Tij

Tij

ij

Rij

Rcij

Kij

i-j












0-1

5

5

5

0

0

5

0

5

0

0

1

1-2

5

10

10

0

5

10

5

1 0

0

0

1

2-3

1

11

11

0

10

11

10

11

0

0

1

2-4

3

13

13

2

10

13

12

15

2

0

0.75

2- 8

1

2 0

20

0

10

11

19

20

9

9

0.1

2-20

7

34

34

0

10

17

27

34

17

17

0.29

3-5

4

15

17

2

11

15

13

17

2

0

0.72












tij

j

j

Rj

Tij

Tij

Tij

ij

Rij

Rcij

Kij

i-j












3-6

7

18

18

0

11

18

11

18

0

0

1

4-5

2

15

17

2

13

15

15

17

2

0

0.75

5-6

1

18

18

0

15

1 6

17

18

2

2

0.75

6-7

1

19

19

0

18

19

18

19

0

0

1

7-8

1

20

20

0

19

20

19

20

0

0

1

7-10

1

2 0

21

1

19

20

20

21

1

0

0.75

8-9

2

22

22

0

20

22

20

22

0

0

1

9-12

1

23

23

0

22

23

22

23

0

0

1

9-14

1

25

25

0

22

23

24

25

2

2

0.33

10-11

1

21

24

3

20

21

23

24

3

0

0.5

10-12

2

23

23

0

20

22

21

23

1

1

0.75

11-14

1

25

25

0

21

22

24

25

3

3

0.5

12-13

1

24

24

0

23

24

23

24

0

0

1

13-14

1

25

25

0

24

25

24

25

0

0

1

14-15

3

28

28

0

25

28

25

28

0

0

1

15-16

1

29

29

0

28

29

28

29

0

0

1

16-17

1

30

30

0

29

30

29

30

0

0

1

17-18

1

31

32

1

30

31

31

32

1

0

0.75

17-20

4

34

34

0

30

34

30

34

0

0

1

18-19

1

32

33

1

31

32

32

33

1

0

0.75

19-20

1

34

34

0

32

33

33

34

1

1

0.75

20-21

3

37

37

0

34

37

34

37

0

0

1

21-22

6

43

43

0

37

43

37

43

0

0

1


5.1.6. .


. , - . - - , .

. .

. . (Rij) ( ). . 2.


5.2. .


.


5.2.1.


5.

.

1

-1515

10000

2

8000

3

125-15/3

18000


36000


:

  1. ,
  2. ,
  3. ,
  4. ,
  5. ,
  6. ,
  7. .



5.2.2.


5.2.2.1.

:

= / F

        - , ;

        - , % ;

        - , . ;

       F - .

:

= /12

        - ,

        - .


6.

, .

., %

. ., .

1

-1515

10000

19

158.33

2

8000

23

153.33

3

125 - 15/3

18000

15

225

:                    536.66 .


5.2.2.2.

: 1 2 , .

= St / 30

= 3 ×(3. 5×4. 5)60 /30 = 94.5 .


5.2.2.3.

, , , , .

:

= ( 1 + - ) i i

        - ;

        - ;

        - ., - ;

        - ., , .

= 0.08, = 0.05 .


7. .

.

. .

,

1

Si

.

20

20

412

2

1

15

15.45

3

2.5

3

7.73

4

1

15

15.45

5

1

15

15.45




:


466.08


= (1+1.03-0.05 )×[400 +15 + 2.5×7.5+ 15+15 ]= 466.08 .


5.2.2.4.

:

= ×F××

:

- , ;

F- , .;

- 1 / , ;

- . ( = 0. 8 ).


8.

N

,

.

1 ,

,

.

1

-1515

150

0.23

41.4

2

150

1.5

0.23

41.4

3

125-5/3

200

60

0.23

2208

:            2290.8


5.2.2.5.


9.

, .

, .

, -

/, .

1

300

12.50

33

412,50

2

-

40

1,67

66

110

3

360

15

3

45

4

360

15

3

45

:                 612,50

1

( 1,5% )

612,50×0,025=15,31

2

(4%)

612,50×0. 025=15,31 .

3

(32%)

612,50×0,32=196 .

        : 234,58 .

     : 612,50+234,58 = 847,08 .

     : 612,50×1.5 = 918,75 .


5.2.3. .


10.

N

, .

1

536,66

2

9 4.5

3

466.08

4

2290.8

5

847,08

6

918,75

7

234,58


5388,45


5.3. - .


- .

- , . - ( ) :

       σjk - , n- ;

       γj - " n- ;

       σjkmax - .

- : - , , , .


T 11.

γ

γi

- γ1

γ2

γ3

γ4

0.3

0.3

0.2

0.1

. , , j- .


12

-

10

7

5

1

10

7

3

,

10

1

1

10

6

3


13.

13.

σ jk

1

2

3

-

10


10

10


10

8


8

10


9

9


9

9


9

9


10

10


7

8.7


9

9.7


8


= (0.3×8.7+0.4×9+0.2×9.7+0.1×8)/(3+4+2+1)

= 0.895

, - , . .

.

.

= [ (1+×1)-(2+×2) ]×

- , .

1 2 - .

1 2- .

- .

- .

.

= /

- 1 . .

- .


.

= /R

        - .

       R - , .

        = [(20+0.15×1 100)-(19.5+0.15×2700)]×25

        = 1 24400 .

        = 1 24400 / 5388.45=23,09 .

        = 124400 /4= 31100 .


5.4.


, - , , , ( - ) .

, , . , . - 4- . . 5388,45 ., - 847,08 ., - 234,58 . - ( = 0.895)  .


.


- :

  1. -1515 220 ;
  2. 220 ;
  3. - 220 .

        , , . .


2 .


:

  1.        4. 5;
  2.        3. 5 ;
  3.        3. 5.

:

2 .

:

55.125 . .

:

55.125 / 2 = 27.5 . .

:

4.5 × 3.5 = 15.75 . .

:

15.75 / 2 = 7.875 . .

:

7.25 . .


245-71, 4. 5 . . 15 . , - 3. 5

- .

12.2.032-78 i "".

: - 1020 ,


. 1. :

1 - ;        2 - i;

3 - ;                                                4 - .

                                       800 ,

                                                       430 ,

                                               600

4.3 .


12. 1. 005-88 1:

                150 /;

                20 /

        , 1.

1.

,

,

%

,

/

i

-

1

22. . . 24

25

26

21

18

40. . . 60

75

0. 1

0. 1

1

23. . 25

28

30

22

20

40. . . 60

55 (t=28oC)

0. 1

0. 2



:

L = K×V 3/,

:         - ; V - .

= 2,

V = 55. 125 3

L = 255. 125 = 110. 25 3/.

.

2. 04. 05. 86 -0. 5-0143 :

        :        500 3/;

        :                        2300 /;

        :                1100 .


.

-4-79 [23] III , - 0.3. . . 0.5 .

.

        . :

:        S0 - , ;

       S0 - , 2;

        - , IV :

,

               n - , :        1. 5;                c - :                                                0. 75;

               m - :                                                0. 9

       

       K3 - ;

       N0 - ;

       t0 - , , , :

t0 = t1 t2 t3 t4 t5

       t1 - :

                                               0. 8;

       t2 - :

                '                0. 6;

       t3 - :

                                                       1. 0;

       t4 - :

                                                       1. 0;

       t5 - :

                                                       1. 0.

t0 = 0. 80. 6111 = 0. 48;

V1 - ,                , ;

6 - , , .

                :                         = 1. 01;

                       Sn = 15. 8 ;                                t0 = 0. 48;

                       V1 = 2;                                        K3 = 1. 3;

                       N0 = 13;                                K6 = 1.

       :

:

                       S0 = 2. 81 2

1. 2×1. 5 . 2×1. 2×1. 5 = 3. 6 , , .

.

        III = 300 [22], - 0. 3. . . 0. 5 .

        i . [24]:

,

       S - :                                                15. 8 2;

        - :

                i                                1. 5. . . 2. 0;

       Z - :                        1. 1;

       η - ,

                ,

                ,

                                                       0. 45.

.

        i -40, f = 2000 . :

n = f /

n = 17270 / 2000 = 18 .

        -240-0024 ( ) (. 2).



.2.  


.

-86 [27] . 1. 1. 13 1- , ( , , :

) ;

) ;

) ;

) ;

) ).

, . , 1 . . : , , . 4 0.

, - 1. 5 . .

.

1. :

       - :                                        ρ = 40 O;

        :

                -                        d = 16 ;

                - 25 × 4        b = 25 2

       -                l = 2. 5 ;

       -         = 2. 0 ;

       -        b = 0. 7 .

2. :

       Ψ = 1. 32 - .

ρp3 = 1. 32 40 = 52. 8

3. :

,

Z = h + l/2 = 0. 7+2. 5/2 = 1. 95 -

4. :

n = RB /(RH n)

       n - 0. 45 - .

n = 16. 32 / (4 0. 45) = 9. 0 .

5. R , ' :

L = (n - 1)

L = 2 (9 - 1) = 16 .

6. , h = 0. 7 :

.

7. :

,

       nB = 0. 5- ;

       n = 0. 6- .

.

.


ρ

40

d

m

0. 016




b

0. 025




2





1

m

2. 5





h

0. 7

y


1. 32

ne


0. 45

. .

n


0. 5

. .

n


0. 6








Z

m

1. 95








R

15. 4823








n

9








L

16








R

O

2. 9901 6








R

O

2. 03537



.


, , 12. 1. 006-84 . , , , i. . .

, 8. 5 /. . 10 /. , - .


4.8 .


2. 09. 02. 85 ( ), , - -1. -5. .


. 3. .

: 1